半导体器件物理（第2版）：半导体的表面特性PPT教学课件.pptx

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节编号第四章半导体的表面特性4.1 半导体表面与 Si-SiO2 系统半导体表面悬挂键Si 原子4.1.1 理想的半导体表面所谓理想的半导体表面是指原子完全有规则的排列且终止于同一平面上。但显而易见的是，由于表面处晶格原子排列的终止，故表面处的原子存在不饱和共价键，被称为悬挂键。一般地，一个悬挂键对应一个电子状态，将称其为表面态。4Si 衬底SiO2 层4.1 半导体表面与 Si-SiO2 系统在制作晶体管和集成电路之前，半导体 Si 晶体表面需经过仔细研磨、抛光和清洁处理，并确保其良好的平整度。硅（ Si ）还是一种较活泼的化学元素，其氧化物 SiO2在半导体制备中有着特殊的功用，主要用作为：①绝缘介质层，用于分隔金属膜及其他导电材料；②掩蔽层，用于杂质元素的选择性掺杂；③钝化，保护器件...

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