第 8 章 外延工艺第 8 章 外延工艺8.1 外延生长原理8.2 外延工艺应用8.3 外延工艺仿真8.4 外延工艺进展本章小结第 8 章 外延工艺8.1 外延生长原理8.1.1 外延工艺的种类 1. 按外延层与衬底材料的类型分类 如果外延层与衬底为同种材料，则称为同质外延，例如在 Si 衬底上外延Si 、在 GaN 衬底上外延 GaN 等。如果外延层与衬底材料在化学组分或者晶体结构方面存在差异，...
第 4 章 热氧化工艺第 4 章 热氧化工艺4.1 二氧化硅薄膜4.2 热氧化方法4.3 薄氧化层生长4.4 热氧化工艺仿真4.5 热氧化工艺进展本章小结第 4 章 热氧化工艺4.1 二氧化硅薄膜4.1.1 二氧化硅薄膜的基本结构与性质 图 4-1-1 为二氧化硅 (SiO2) 的基本结构。图 4-1-1(a) 所示的 Si-O 四面体结构是二氧化硅的基本单元，其由 4 个位于顶角的氧原子和 1 ...
第 5 章 离子注入工艺第 5 章 离子注入工艺5.1 离子注入基本原理5.2 离子注入设备结构5.3 离子注入工艺参数5.4 离子注入浓度分布5.5 离子注入沟道效应5.6 离子注入损伤与退火5.7 离子注入工艺应用5.8 离子注入工艺仿真本章小结第 5 章 离子注入工艺5.1 离子注入基本原理5.1.1 离子注入工艺原理 离子注入的原理是：低温下将具有动量的带电离子注入硅晶圆的特定区域，从而实...
第 10 章 刻蚀工艺第 10 章 刻蚀工艺10.1 刻蚀工艺概述10.2 湿法刻蚀10.3 干法刻蚀10.4 先进的原子层刻蚀技术10.5 刻蚀工艺仿真本章小结第 10 章 刻蚀工艺10.1 刻蚀工艺概述10.1.1 刻蚀的基本概念及分类 将光刻工艺形成的光刻胶图形转移到晶圆表面的各种薄膜上，形成最终的器件图形或集成电路结构图形，这就是刻蚀工艺。刻蚀工艺示意图如图 10-1-1所示。第 10 章...
第 11 章 金属化工艺第 11 章 金属化工艺11.1 金属化材料11.2 金属化工艺本章小结第 11 章 金属化工艺11.1 金 属 化 材 料 现代集成电路对于金属化材料的要求包括： (1) 电阻率低：能够传导高电流密度。 (2) 黏附性好：能够黏附下层衬底，实现很好的电连接，且半导体与金属连接时接触电阻低。 (3) 易于淀积：容易成膜。 (4) 易于图形化：对下层衬底有着高选择比，且易于平...
第 3 章 硅晶圆清洗工艺第 3 章 硅晶圆清洗工艺3.1 集成电路制造过程中的主要污染物3.2 清洗工艺的分类3.3 清洗设备的分类及发展趋势3.4 清洗工艺的常见技术缺陷本章小结第 3 章 硅晶圆清洗工艺3.1 集成电路制造过程中的主要污染物 1. 颗粒物 聚合物、光刻胶以及刻蚀过程中产生的杂质是颗粒物的主要成分。这些成分通常附着在硅基底表面，对后续工艺的几何精度和电性能产生不利影响。颗粒与硅...
第 2 章 硅单晶与硅晶圆的制备第 2 章 硅单晶与硅晶圆的制备2.1 硅半导体的重要性2.2 硅晶体结构2.3 多晶硅的制备2.4 硅单晶的制备2.5 硅晶圆的制备2.6 硅外延片2.7 绝缘体上硅本章小结第 2 章 硅单晶与硅晶圆的制备2.1 硅半导体的重要性2.1.1 我国第一根半导体单晶 1948 年，美国贝尔实验室制备了世界上第一个半导体锗单晶。 1957 年 11 月，刚刚归国不久的中...
第 9 章 光刻工艺第 9 章 光刻工艺9.1 光刻工艺的三要素9.2 光刻工艺的重要性9.3 光刻工艺流程9.4 光刻分辨率9.5 光刻机9.6 曝光光源9.7 光刻胶9.8 光刻版9.9 先进的光刻技术本章小结第 9 章 光刻工艺9.1 光刻工艺的三要素 光刻工艺是通过投影和曝光，将光刻版图形转移到光刻胶上的工艺过程。由光刻工艺确定的光刻胶图形仅仅是集成电路图形的印模，还需要通过刻蚀工艺，将光...
第 14 章 封装工艺第 14 章 封装工艺14.1 封装工艺概述14.2 先进封装工艺本章小结第 14 章 封装工艺14.1 封装工艺概述 封装主要解决两个核心问题： 一是怎样封，既能保护芯片，又能兼顾小型化、散热和低成本等； 二是怎样连线，以提高连接密度和传输速度。 传统封装概念是从最初的三极管直插时期开始产生的。传统封装示意图如图 14-1-1 所示。封装过程如下：将晶圆背面研磨减薄并切割为...
第六章长期投资决策主要内容 投资项目现金流量的估算 项目投资决策方法 项目投资决策实务学习目标 了解投资项目现金流量的概念与内容 了解投资效益评价指标 熟悉投资项目现金流量的估算 掌握投资项目的决策方法 掌握具体的投资分析方法引例 某健身俱乐部总经理正在考虑更换健身器材。甲公司方案是跑步机 6400元 / 台，预计 5 年后残值为 800 元 / 台。乙公司方案是每年租金 160...
第九章战略管理会计主要内容· 战略管理会计概述· 战略定位分析· 战略管理会计的主要方法学习目标· 了解战略管理会计的产生和发展；· 了解战略管理会计的含义及特征；· 掌握战略定位的内容和方法；· 理解战略管理会计的主要方法；· 掌握竞争战略的基本思想。引例 某公司主要从事建筑机械的生产，业务范围集中在广州市场。公司成立初期，只在广州地区销售三台塔式起重机，亏损严重，因日常营运无法持续，急需进行战...
战略关键成功因素目录Content产品生命周期成本管理质量成本管理环境成本管理物流成本管理1234• 了解产品生命周期成本管理的基本思想；• 熟悉产品生命周期成本的内涵； • 了解质量成本管理的基本思想； • 了解全面质量管理、 ISO 质量管理体系及六西格玛质量管理的概念；• 了解物流成本管理的分类；• 熟悉物流成本的管理理论；学习目标◎• 理解质量成本控制的方法；• 了解环境成本管理的方法； ...
第四章盈亏平衡分析主要内容 盈亏平衡分析的基本原理 单一产品盈亏平衡分析 多产品盈亏平衡分析 盈亏平衡分析拓展学习目标 了解盈亏平衡分析的含义 熟悉利用敏感性分析的方法 掌握盈亏平衡分析的基本原理与计算方法 掌握不确定及非线性条件下盈亏平衡点的计算引例 在经济萧条时期，企业面临不断降低的销售额时，需要降低固定成本或者变动成本，调整成本结构降低盈亏平衡点。 2008-2009 年...
第七章全面预算管理主要内容 经营预测 预算方法学习目标 了解全面预算管理的方法体系 了解财务预算的含义与功能及其在财务管理环节和全面预算体系中的地位 掌握固定预算、增量预算、定期预算、弹性预算、零基预算、滚动预算的编制方法与优缺点掌握利润预测及其主要方法 掌握现金预算的编制依据、编制流程和编制方法引例 编制预算的成本和价值受到一些争议，主要表现在四个方面：（ 1 ）过程太耗费时间并且...
平衡计分卡第十二章主要内容 第一节 平衡计分卡的产生与发展 第二节 平衡计分卡的基本概念 第三节 平衡计分卡的设计与应用 第四节 战略地图的应用学习目标 了解平衡计分卡的产生及发展历程； 熟悉平衡计分卡的基本原理； 掌握平衡计分卡的基本框架； 掌握平衡计分卡的设计及应用； 掌握战略地图的概念及应用。引例 甲律师事务所 ( 以下简称甲所 ) 一贯秉持非常松散和随意的管理风格 , ...
绩效评价第十一章主要内容 第一节 绩效评价概述 第二节 关键绩效指标 第三节 基于利润为核心的绩效评价 第四节 基于 EVA 为核心的绩效评价学习目标 了解绩效评价的概念及构成因素； 了解企业绩效评价体系的演进过程； 理解企业绩效评价的工具方法和指标； 掌握基于企业利润的绩效评价方法； 掌握关键绩效指标的概念和应用； 掌握基于 EVA 的绩效评价方法。引例苹果公司发布了 201...
第一章管理会计概述主要内容 了解管理会计的形成过程和发展趋势 理解管理会计的理论基础 理解管理会计的含义、职能 掌握管理会计的内容和实施程序引例 某公司刚从财务会计工作转入管理会计工作的王某，正在学习管理会计知识。以下是他对管理会计提出的观点： 管理会计与财务会计的职能一样，主要是核算和监督，对相关人的利益进行协调；管理会计和财务会计是截然分开的，无任何联系；管理会计报告要在会计期末...
管理会计报告与管理会计信息系统第十三章主要内容 第一节 企业管理会计报告概述 第二节 管理会计报告的构成 第三节 管理会计信息系统学习目标 了解企业管理会计报告和会计信息系统的概念； 熟悉企业管理会计报告的分类； 掌握战略层、经营层和业务层管理会计报告的概念、报告对象和具体构成； 掌握业务层管理会计报告的编制和应用； 熟悉管理会计信息系统的建设和应用程序； 掌握管理会计信息系统的...
第五章短期经营决策主要内容 短期经营决策概述 生产决策 定价决策学习目标 了解决策中的成本概念 熟悉经营决策的主要程序 掌握短期经营决策的基本方法 掌握生产决策、产品定价的基本方法引例 超市某店长在讨论某新供应商拟摆放柚子茶饮料的申请。由于柚子茶饮料只能摆放在冷藏饮料箱里，经过盘点发现店内共有 4 个冷藏饮料箱，每一个冷藏箱的每年固定运营费用为 80 元的折旧费以及 1200 元的...
第二章成本性态分析主要内容 成本及其分类 成本性态分析概述 成本分解方法学习目标 了解混合成本的概念及其分类 熟悉管理会计中常见的成本分类方法 掌握固定成本和变动成本的概念、特征和分类 掌握成本性态分析方法 京东是我国知名的综合网络零售商，在线销售家电、数码、电脑、居百货、服装服饰、母婴、图书、视频、在线旅游等 12 大类数万个品牌百万种产品。 2014 年 5 月，京东成功在美国...
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