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集成电路制造技术与实践:外延工艺PPT教学课件.pptx

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第 8 章 外延工艺第 8 章 外延工艺8.1 外延生长原理8.2 外延工艺应用8.3 外延工艺仿真8.4 外延工艺进展本章小结第 8 章 外延工艺8.1 外延生长原理8.1.1 外延工艺的种类 1. 按外延层与衬底材料的类型分类 如果外延层与衬底为同种材料,则称为同质外延,例如在 Si 衬底上外延Si 、在 GaN 衬底上外延 GaN 等。如果外延层与衬底材料在化学组分或者晶体结构方面存在差异,则称为异质外延,例如在 Si 衬底上外延 SiGe 、在 SiC 上外延 GaN 等。第 8 章 外延工艺 2. 按工艺方法分类 外延工艺还可分为气相外延、液相外延、固相外延和分子束外延。气相外延可以采用氢化物、卤化物或金属有机物作为反应剂进行薄膜外延,在 Si 外延工艺中一直占据主导地位。液相外延是元素半导体,...

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