第 5 章 离子注入工艺第 5 章 离子注入工艺5.1 离子注入基本原理5.2 离子注入设备结构5.3 离子注入工艺参数5.4 离子注入浓度分布5.5 离子注入沟道效应5.6 离子注入损伤与退火5.7 离子注入工艺应用5.8 离子注入工艺仿真本章小结第 5 章 离子注入工艺5.1 离子注入基本原理5.1.1 离子注入工艺原理 离子注入的原理是：低温下将具有动量的带电离子注入硅晶圆的特定区域，从而实...
第 10 章 刻蚀工艺第 10 章 刻蚀工艺10.1 刻蚀工艺概述10.2 湿法刻蚀10.3 干法刻蚀10.4 先进的原子层刻蚀技术10.5 刻蚀工艺仿真本章小结第 10 章 刻蚀工艺10.1 刻蚀工艺概述10.1.1 刻蚀的基本概念及分类 将光刻工艺形成的光刻胶图形转移到晶圆表面的各种薄膜上，形成最终的器件图形或集成电路结构图形，这就是刻蚀工艺。刻蚀工艺示意图如图 10-1-1所示。第 10 章...
第 11 章 金属化工艺第 11 章 金属化工艺11.1 金属化材料11.2 金属化工艺本章小结第 11 章 金属化工艺11.1 金 属 化 材 料 现代集成电路对于金属化材料的要求包括： (1) 电阻率低：能够传导高电流密度。 (2) 黏附性好：能够黏附下层衬底，实现很好的电连接，且半导体与金属连接时接触电阻低。 (3) 易于淀积：容易成膜。 (4) 易于图形化：对下层衬底有着高选择比，且易于平...
第 7 章 化学气相淀积 (CVD) 工艺第 7 章 化学气相淀积 (CVD) 工艺7.1 CVD的过程与模型7.2 CVD系统7.3 CVD应用7.4 CVD工艺仿真7.5 CVD工艺进展本章小结第 7 章 化学气相淀积 (CVD) 工艺7.1 CVD 的过程与模型7.1.1 CVD 的过程 图 7-1-1 给出了 CVD 反应室剖面图及 CVD 基本过程，主要工艺步骤包括： (1) 传输 ( ...
第 12 章 化学机械平坦化 (CMP) 工艺第 12 章 化学机械平坦化 (CMP) 工艺12.1 CMP工艺原理、技术优势与挑战12.2 CMP工艺的关键材料及辅助工具.12.3 CMP工艺应用12.4 CMP工艺控制12.5 CMP设备本章小结第 12 章 化学机械平坦化 (CMP) 工艺12.1 CMP 工艺原理、 技术优势与挑战12.1.1 CMP 工艺原理 CMP 工艺原理是：氧化剂氧...
第 3 章 硅晶圆清洗工艺第 3 章 硅晶圆清洗工艺3.1 集成电路制造过程中的主要污染物3.2 清洗工艺的分类3.3 清洗设备的分类及发展趋势3.4 清洗工艺的常见技术缺陷本章小结第 3 章 硅晶圆清洗工艺3.1 集成电路制造过程中的主要污染物 1. 颗粒物 聚合物、光刻胶以及刻蚀过程中产生的杂质是颗粒物的主要成分。这些成分通常附着在硅基底表面，对后续工艺的几何精度和电性能产生不利影响。颗粒与硅...
第 2 章 硅单晶与硅晶圆的制备第 2 章 硅单晶与硅晶圆的制备2.1 硅半导体的重要性2.2 硅晶体结构2.3 多晶硅的制备2.4 硅单晶的制备2.5 硅晶圆的制备2.6 硅外延片2.7 绝缘体上硅本章小结第 2 章 硅单晶与硅晶圆的制备2.1 硅半导体的重要性2.1.1 我国第一根半导体单晶 1948 年，美国贝尔实验室制备了世界上第一个半导体锗单晶。 1957 年 11 月，刚刚归国不久的中...
第 9 章 光刻工艺第 9 章 光刻工艺9.1 光刻工艺的三要素9.2 光刻工艺的重要性9.3 光刻工艺流程9.4 光刻分辨率9.5 光刻机9.6 曝光光源9.7 光刻胶9.8 光刻版9.9 先进的光刻技术本章小结第 9 章 光刻工艺9.1 光刻工艺的三要素 光刻工艺是通过投影和曝光，将光刻版图形转移到光刻胶上的工艺过程。由光刻工艺确定的光刻胶图形仅仅是集成电路图形的印模，还需要通过刻蚀工艺，将光...
第 14 章 封装工艺第 14 章 封装工艺14.1 封装工艺概述14.2 先进封装工艺本章小结第 14 章 封装工艺14.1 封装工艺概述 封装主要解决两个核心问题： 一是怎样封，既能保护芯片，又能兼顾小型化、散热和低成本等； 二是怎样连线，以提高连接密度和传输速度。 传统封装概念是从最初的三极管直插时期开始产生的。传统封装示意图如图 14-1-1 所示。封装过程如下：将晶圆背面研磨减薄并切割为...
国 家 级 一 流 本 科 课 程 配 套 教 材创新创业基础： AI 赋能的实践教程I N N O V A T I O N A N D E N T R E P R E N E U R S H I P第 六 章 制 定 创 业 计 划P 02 / 16学习目标创 新 创 业 基 础 ： A I 赋 能 的 实 践 教 程 · 第 六 章理解创业计划的本质与作用把握创业计划与一般管理计划在不确定性、...
国家级一流本科课程配套教材创新创业基础： AI 赋能的实践教程第 五 章 整 合 创 业 资 源I N N O V A T I O N A N D E N T R E P R E N E U R S H I P学习目标P 02 / 21了解商业模式内涵与设计理解价值发现、价值匹配、价值获取三环节；学会运用商业模式画布系统梳理客户、价值主张、渠道、收入等九大要素。熟悉创业团队构成与管理把握创业团队与...
国 家 级 一 流 本 科 课 程 配 套 教 材创新创业基础： AI 赋能的实践教程I N N O V A T I O N A N D E N T R E P R E N E U R S H I P第 九 章 数 字 创 业P 02 / 24创 新 创 业 基 础 ： A I 赋 能 的 实 践 教 程 · 第 九 章学习目标理解数字创业的内涵理解数字创业是“数字技术 × 创业活动”的交叉领域，...
国家级一流本科课程配套教材创新创业基础：AI 赋能的实践教程第 三 章 识 别 创 业 机 会I N N O V A T I O N A N D E N T R E P R E N E U R S H I PP 02 / 20学习目标理解创业机会内涵了解创业机会的含义、特征及来源。掌握识别机会的规律熟悉识别机会的过程、影响因素及方法。掌握创业机会评价掌握创业机会的潜力评价与匹配评价。创 新 创 业...
国 家 级 一 流 本 科 课 程 配 套 教 材创新创业基础： AI 赋能的实践教程I N N O V A T I O N A N D E N T R E P R E N E U R S H I P第 八 章 社 会 创 业P 02 / 20创 新 创 业 基 础 ： A I 赋 能 的 实 践 教 程 · 第 八 章学习目标理解社会创业的内涵与边界把握社会创业的含义，厘清它与传统商业创业在目标...
国 家 级 一 流 本 科 课 程 配 套 教 材创新创业基础： AI 赋能的实践教程I N N O V A T I O N A N D E N T R E P R E N E U R S H I P第 十 章 人 工 智 能 与 创 新 创 业P 02 / 21创 新 创 业 基 础 ： A I 赋 能 的 实 践 教 程 · 第 十 章学习目标理解 AI 的内涵与发展理解人工智能的提出背景、核...
国家级一流本科课程配套教材创新创业基础： AI 赋能的实践教程第 四 章 开 发 创 业 产 品I N N O V A T I O N A N D E N T R E P R E N E U R S H I PP 02 / 22学习目标建立科学的“产品观”理解整体产品概念（核心 · 形式 · 期望 · 延伸 · 潜在 5 个 层面）与产品的分类逻辑（消费品 / 企业用品），理解“产品差异化”、“产...
国 家 级 一 流 本 科 课 程 配 套 教 材创新创业基础： AI 赋能的实践教程I N N O V A T I O N A N D E N T R E P R E N E U R S H I P第 一 章 创 新 创 业 概 论学习目标P 0 3 / 2 5了解全球创业发展及我国创业实践的发展与变化。熟悉创业的含义、过程及“ OPRE” 模型，掌握创业的类型。熟悉创新的含义、创新与创业的关系...
国 家 级 一 流 本 科 课 程 配 套 教 材创新创业基础： AI 赋能的实践教程I N N O V A T I O N A N D E N T R E P R E N E U R S H I P第 七 章 创 立 并 推 动 企 业 成 长P 02 / 24创 新 创 业 基 础 ： A I 赋 能 的 实 践 教 程 · 第 七 章学习目标认识企业的基本范畴理解企业的含义、五大特征与五大功...
国 家 级 一 流 本 科 课 程 配 套 教 材创新创业基础： AI 赋能的实践教程I N N O V A T I O N A N D E N T R E P R E N E U R S H I P第 二 章 成 为 创 业 者学习目标掌握创业者特质理解成功创业者的个性特征、知识与能力、社会资源与网络，以及道德准则与社会责任四大维度，建立对创业者核心素质的系统性认知框架。了解创业意愿的形成从认知...
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