集成电路制造技术—原理与工艺（第3版）：外延PPT教学课件.pptx

下载文档加入资源篮

ID编号 35494
阅读 0
下载 0
格式 pptx
大小 10.07 MB
约54页
2026-10-29
评论
收藏
赞(0)
海报
分享

微信扫码分享或点击分享到

QQ空间

QQ好友

新浪微博

复制链接

分享赚佣金
版权申诉

1/54页

2/54页

3/54页

在线预览已结束，请下载后查看完整版，加入VIP享文档下载特权

/ 54

加入VIP 下载文档加入资源篮

文本预览下载提示常见问题

集成电路制造技术集成电路制造技术——原理与工艺外延第二章外延JI CHENG DIAN LU ZHI ZAO JI SHU 2.1 概述目录CONTENTS2.2 气相外延2.3 分子束外延2.4 其它外延2.5 外延层缺陷及检测一、概述1.1 什么是外延“外延”一词来自于希腊文 Epitaxy ，是指“在……上排列”外延工艺，指在晶体上用化学或物理方法规则地再排列所需晶体材料。外延层与衬底晶向相同，但掺杂类型、电阻率、材料可以不同。衬底外延层GaAs/Si如 n-/n+-Si ，n/p-Si ，1.2 外延工艺种类按工艺方法划分：• 气相外延（ VPE)• 液相外延 (LPE)• 固相外延 (SPE)• 分子束外延（ MBE)按材料划分：• 同质外延，又称为均匀外延• 异质外延，又称为非均匀外延异质外延外延层与衬底的相容性：两者在外延温度不发...

1、当您付费下载文档后，您只拥有了使用权限，并不意味着购买了版权，文档只能用于自身使用，不得用于其他商业用途（如 [转卖]进行直接盈利或[编辑后售卖]进行间接盈利）。
2、本站所有内容均由合作方或网友上传，本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺！文档内容仅供研究参考，付费前请自行鉴别。
3、如文档内容存在侵权，违规、或者侵犯商业秘密、侵犯著作权等，请点击“侵权申诉”。

常见问题碎片内容