集成电路制造技术—原理与工艺（第3版）：工艺监控与系列实验PPT教学课件.pptx

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集成电路制造技术集成电路制造技术——原理与工艺工艺监控与系列实验第十三章 ~ 第十四章工艺监控就是借助于一整套检测技术和专用设备，监控整个生产过程，在工艺过程中，连续提取工艺参数，在工艺结束时，对工艺流程进行评估。材料检测材料主要有高纯水、高纯气体、扩散源、硅抛光片等，在材料使用前进行质检，在工艺过程中进行定期抽检。工艺检测可分为 4 类：①硅片晶格完整性、缺陷等物理量的测定；②薄膜厚度、结深、图形尺寸等几何线度的测量；③薄膜组份、腐蚀速率、抗蚀性等化学量的测定；④方块电阻、界面态等电学量的测定。1213 工艺监控工艺过程检测在硅片加工工艺线上设立的材料、工艺检测和评价体系工艺监控生产环境温度、湿度、洁净度、静电积聚等；基础材料高纯水（去离子水）、高纯...

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