集成电路制造技术集成电路制造技术——原理与工艺绪论绪论JI CHENG DIAN LU ZHI ZAO JI SHU 绪论1.1 集成电路制造技术主要内容1.2 IC 制造技术的发展历程1.3 IC 制造技术特点1.4 半导体单晶硅的特性目 录CONTENTS一、集成电路制造技术就是介绍硅集成电路制造的工作、方法和技术。一、集成电路制造技术硅基集成电路芯片的生产过程一、集成电路制造技术n+npn+ebcnpn 晶体管芯片的工艺流程由 5 个单项工艺：按照一定的顺序排列而成。一、集成电路制造技术必须有隔离工艺有金属布线互联系统工艺是在分立器件工艺基础上发展起来的同一单项工艺基本相同，但是要求会更高与分立器件工艺最大不同：此外，集成电路工艺更复杂。集成电路芯片工艺与分立器件工艺的异同二、集成电路制造技术的发展历程飞乐 ...
