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集成电路制造技术与实践：物理气相淀积(PVD)工艺PPT教学课件.pptx

第 6 章物理气相淀积 (PVD) 工艺第 6 章物理气相淀积 (PVD) 工艺6.1 真空蒸发工艺6.2 溅射工艺6.3 PVD工艺应用6.4 PVD工艺进展本章小结第 6 章物理气相淀积 (PVD) 工艺6.1 真空蒸发工艺 1. 真空蒸发系统及工艺过程在真空蒸发工艺过程中，蒸发源在真空条件下受热形成原子或分子蒸气流，随后蒸气流扩散至衬底表面凝结形成薄膜。真空蒸发工艺具有设备简单、操...

                  2026-09-03发布
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