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集成电路技术导论:项目7VR虚拟实训项目PPT教学课件.pptx

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项目七 VR 虚拟 实训项目目 录一 项目前导二任务一 背空腔型FBAR 器件工艺流程三 任务二 MA6 工艺流程01项目前导目 录01 项目导读02 学习目标03 学习重难点04 任务描述项目导读▌ 核心任务项目围绕两大核心任务模块,分别实现 FBAR 器件底电极制备全流程与 MA6 光刻机光刻工艺的沉浸式仿真训练,助力半导体人才培养。▌ 实训培育的重要性半导体制造与微纳加工是电子信息产业核心,其工艺实操水平是我国突破技术瓶颈、推动产业高质量发展的关键,而高质量实训是培育专业人才的重要环节。▌ 实训设备的受限性传统半导体实训受设备昂贵、成本高、风险大等制约,因此搭建高效安全的虚拟仿真实训平台已成为迫切需求。▌ 本项目特色本项目联合企业共建实训室,以 VR 虚拟仿真系统还原半导体核...

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