项目七 VR 虚拟 实训项目目 录一 项目前导二任务一 背空腔型FBAR 器件工艺流程三 任务二 MA6 工艺流程01项目前导目 录01 项目导读02 学习目标03 学习重难点04 任务描述项目导读▌ 核心任务项目围绕两大核心任务模块，分别实现 FBAR 器件底电极制备全流程与 MA6 光刻机光刻工艺的沉浸式仿真训练，助力半导体人才培养。▌ 实训培育的重要性半导体制造与微纳加工是电子信息产业核心，...
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