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  • 集成电路制造技术与实践:先进的集成工艺PPT教学课件.pptx

    第 13 章 先进的集成工艺第 13 章 先进的集成工艺13.1 阱工艺13.2 浅槽隔离(STI)工艺13.3 栅极工艺13.4 源漏工艺13.5 自对准金属硅化物工艺13.6 接触孔与通孔工艺13.7 金属互连工艺本章小结第 13 章 先进的集成工艺13.1 阱 工 艺13.1.1 阱工艺技术的原理和流程 1. 阱工艺原理 阱工艺的原理是通过掺杂工艺,在衬底中形成具有特定掺杂类型 (N 型、 ...

    2026-09-03发布 3 浏览 135 页 0 次下载 6.69 MB

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