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  • 集成电路制造技术与实践:物理气相淀积(PVD)工艺PPT教学课件.pptx

    第 6 章 物理气相淀积 (PVD) 工艺第 6 章 物理气相淀积 (PVD) 工艺6.1 真空蒸发工艺6.2 溅射工艺6.3 PVD工艺应用6.4 PVD工艺进展本章小结第 6 章 物理气相淀积 (PVD) 工艺6.1 真空蒸发工艺 1. 真空蒸发系统及工艺过程 在真空蒸发工艺过程中,蒸发源在真空条件下受热形成原子或分子蒸气流,随后蒸气流扩散至衬底表面凝结形成薄膜。 真空蒸发工艺具有设备简单、操...

    2026-09-03发布 1 浏览 42 页 0 次下载 2.16 MB

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