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集成电路制造技术与实践：外延工艺PPT教学课件.pptx

第 8 章外延工艺第 8 章外延工艺8.1 外延生长原理8.2 外延工艺应用8.3 外延工艺仿真8.4 外延工艺进展本章小结第 8 章外延工艺8.1 外延生长原理8.1.1 外延工艺的种类 1. 按外延层与衬底材料的类型分类如果外延层与衬底为同种材料，则称为同质外延，例如在 Si 衬底上外延Si 、在 GaN 衬底上外延 GaN 等。如果外延层与衬底材料在化学组分或者晶体结构方面存在差异，...

                  2026-09-03发布
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