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  • 集成电路制造技术与实践:离子注入工艺PPT教学课件.pptx

    第 5 章 离子注入工艺第 5 章 离子注入工艺5.1 离子注入基本原理5.2 离子注入设备结构5.3 离子注入工艺参数5.4 离子注入浓度分布5.5 离子注入沟道效应5.6 离子注入损伤与退火5.7 离子注入工艺应用5.8 离子注入工艺仿真本章小结第 5 章 离子注入工艺5.1 离子注入基本原理5.1.1 离子注入工艺原理 离子注入的原理是:低温下将具有动量的带电离子注入硅晶圆的特定区域,从而实...

    2026-09-03发布 2 浏览 45 页 0 次下载 3.29 MB

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