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  • 集成电路制造技术与实践:刻蚀工艺PPT教学课件.pptx

    第 10 章 刻蚀工艺第 10 章 刻蚀工艺10.1 刻蚀工艺概述10.2 湿法刻蚀10.3 干法刻蚀10.4 先进的原子层刻蚀技术10.5 刻蚀工艺仿真本章小结第 10 章 刻蚀工艺10.1 刻蚀工艺概述10.1.1 刻蚀的基本概念及分类 将光刻工艺形成的光刻胶图形转移到晶圆表面的各种薄膜上,形成最终的器件图形或集成电路结构图形,这就是刻蚀工艺。刻蚀工艺示意图如图 10-1-1所示。第 10 章...

    2026-09-03发布 2 浏览 85 页 0 次下载 5.16 MB

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